雙溫區滑軌管式爐
管式爐主要通過程序自動精確控溫來實現CVD、PVD和退火處理等實驗手段，并且可以通過滑軌實現快速降溫。爐子的底部安裝有一對滑軌，可使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現快速加熱和快速冷卻。想實現快速地加熱，可將加熱爐預熱至所需溫度，把爐體滑動至樣品位置。 想實現快速的冷卻，可在樣品處加熱完成后將爐體滑到另一側。
雙溫區滑軌爐規格參數：
配置：
雙溫區滑軌管式爐一套(帶三路流量控制系統一套氮氣500sccm，氬氣500sccm，氫氣50sccm)，KF25抽氣口真空泵一套，法蘭改裝(兩端全部改裝，每端三個出氣口其中包括KF25抽氣接口，1/4,接口出氣口，以及真空壓力表出氣口和寶塔抽氣接口)
55世纪 1、殼體結構：雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使得殼體表面的溫度小于60度；爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，減少熱量的損失；內爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高反射率及設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
2、功率：2.5KW?
3、電壓：AC?220V??50Hz/60Hz
55世纪 4、工作溫度：額定1200℃(＜1h)，連續工作1100℃
5、升降溫速率：20℃/min
55世纪 6、控溫精度：±1℃
55世纪 7、真空度：10-2torr(機械泵)，10-5torr(分子泵)
55世纪 8、漏氣率：＜5mtorr/min
55世纪 9、升溫速率:? ≤10℃/min?
10、爐管尺寸和法蘭：純度99.8％?的高純石英管；包括不銹鋼真空密封法蘭，針閥，和壓力表
11、擴展接口：標配KF25?adapter轉接頭；標配VCR雙卡套接頭，爐子兩端裝有法蘭支架支架長度根據爐管尺寸定做！(非標定制)
55世纪 12、溫控系統：PID智能化溫度控制器，可以設置30段升降溫程序；每個溫區可以獨立的設置，帶有過熱和斷偶保護
13、控制方法：PID自動控制
當前文章：雙溫區滑軌管式爐
